史珺博士谈普罗的多晶硅铸锭炉的炉前检查

  多晶硅铸锭过程中需要充入氩气，此外，在冷却时也要对炉内充氩气。在铸锭时，要对炉内充氩气保护，因此，充气系统要保持完好。充气系统由气源、气管、阀门、流量与压力计等组成。要逐一检查是不是完好，尤其是气体管路的炉内部分，要注意别与其它炉内元件尤其是加热元件碰到，或距离过近。

  气源要保证清洁，因为即便买的纯净气，也很难保证装瓶时的清洁，因此，气源出口应当设置过滤和干燥装置，对气体进行再净化，这样，对气体净化系统也要进行全方位检查，过滤材料要按要求定期更换。

  普罗的所有炉子均采用自动控制。自动控制按照设定的工艺进行运作。但工艺的执行需要传感器的信号才能判断怎么来控制。多晶硅铸锭炉的传感器包括：红外测温信号、热电偶测温元件、气体和水流量表、水压表、真空度、保温体的直线单元位置信号，等等。真空熔炼炉的执行机构则包括：功率控制器、各开关、升降保温体的伺服电机、阀门、等等。

  仪表和传感器是控制管理系统的眼睛和耳朵，如果传感器的信号不准，控制管理系统就没有办法进行正确的控制。而在高温环境下，由于炉内传感器无法在生产时修正，因此，炉前检查就特别重要。

  红外测温仪常常要定期校准，但一般的情况下，影响更大的是炉内的红外通道。红外通道指从测温仪到硅液表面的通道。红外一定要能畅通地直接观察到硅液。由于常常要经过观察窗、红外石墨管、保温体才能到达硅液表面，有时坩埚还有坩埚盖。这个通道在高温下，由于硅液表面的硅蒸汽蒸发严重，很容易发生堵塞。发生堵塞的部分有：保温体的开孔，红外石墨管，观察窗口则可能被蒸汽薰上一层膜而导致测温误差。若发生堵塞，则红外测温仪将给出较实际值为低的温度读数，严重时，全部堵塞，则完全失去了意义。因此，要观察红外口是否发生堵塞，是否清理通畅，红外窗口是否干净，等等。其它仪表也要逐一检查。

  热电偶在真空炉内，套管很容易受硅蒸汽腐蚀而变薄甚至穿孔，因此，在使用过一次以上后，要观察热电偶套管是不是正常。由于坩埚需要取出以及放入，热电偶的套管有时需要移动，一定要注意最好每次套管的头部要贴住或者接触到需要测温的部位。热电偶的导线在用过一次以后也会变脆，要注意在移动时是否折断。

  所有的仪表都应该进行模拟检测，即给出一个信号来看是否在操作界面上反映出来。执行机构的检查与仪表类似，也有必要进行逐一检查，并通过电脑界面给出控制信号看执行情况来进行检测。

  以上九项内容在每次操作前均应当通过炉前检查表进行认真而细致的检查，不得认为某个东西不会损坏而略过，也不要遗漏。一旦在炉前检查有问题被忽略，那么，开炉以后，可能就没机会再更正了。

  再次重申，良好的开炉检查，是炉子成功的保证。其重要性，和生产时的当班操作一样重要，甚至可以说更加重要。

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